Måling av overflatetopografi

Valg av målemetode bestemmes av hvor små detaljer man ønsker å se, og hvor store billedutsnitt man trenger. Ulike instrumenter kan måle topografi og form over bestemte lengdeskalaer både sideveis og i høyden. Tabellen angir de måleområdene og instrumentene som er tilgjengelig hos SINTEF Materialer og kjemi.

Høyde-
oppløsning
Sideveis
oppløsning

Billedbredde

Instrument
0,1 nm1 nm100 nm - 250 µm"Atomic Force" Mikroskop (AFM)
1 nm1 µm60 µm - 10 cmHvittlysinterferometer (WLI)
1 - 100 µm10 - 1000 µm1 cm - 1 mStrukturert lys


Kontaktperson: Børge Holme, tlf. 98 28 39 46


Publisert 16. februar 2005